System for manufacturing a thin-film transistor, method of manufacturing a thin-film transistor, method of evaluating polysilicon, and apparatus for inspecting polysilicon
Номер патента: TW498555B
Опубликовано: 11-08-2002
Автор(ы): Hiroyuki Wada, Masato Takatoku
Принадлежит: Sony Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-08-2002
Автор(ы): Hiroyuki Wada, Masato Takatoku
Принадлежит: Sony Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thin film transistor, method for manufacturing thereof, array substrate and display device
Номер патента: US20220020864A1. Автор: Qi Yao,Wei He,Yi Zhou,ZHI Wang,Sheng Xu,Fang He,Renquan Gu,Wusheng Li,Xuefei Zhao,Lizhen Zhang,Shipei Li,Huili Wu,Jaiil Ryu. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2022-01-20.