ATTACHMENT FOR SUBSTRATES HAVING DIFFERENT DIAMETERS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE OR SEMICONDUCTOR DEVICE
Номер патента: US20120216743A1
Опубликовано: 30-08-2012
Автор(ы): Akinori Tanaka, Takeshi Itoh
Принадлежит: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-08-2012
Автор(ы): Akinori Tanaka, Takeshi Itoh
Принадлежит: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing apparatus, storage device, and method of transporting substrate storing container
Номер патента: US09728434B2. Автор: Yukihiko Inagaki,Jun Yamamoto,Kensaku ONISHI. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-08.