Aparato de formacion de pelicula metodo para la fabricacion de un producto formado de pelicula usando dicho aparato y un panel de enfriamiento.
Номер патента: MX2019006575A
Опубликовано: 21-08-2019
Автор(ы): Fujii Hirofumi, Suzuki Takeshi
Принадлежит: Kobe Steel Ltd
Опубликовано: 21-08-2019
Автор(ы): Fujii Hirofumi, Suzuki Takeshi
Принадлежит: Kobe Steel Ltd
Реферат: Se proporciona un aparato de formación de película (1) que tiene una estructura simple y de tamaño reducido. El aparato de formación de película (1) incluye al menos un objetivo (4) que tiene una cara opuesta que se opone a un sustrato (W), una pluralidad de soportes de objetivos (5) cada uno sosteniendo el objetivo (4) de manera desmontable, una unidad de enfriamiento (6) que enfría una pluralidad de soportes (5), y al menos un panel de enfriamiento (7). El al menos un panel de enfriamiento (7) incluye una parte sostenida (7d) detenida por el soporte de objetivo (5), y una parte receptora de calor (7b) que tiene una cara receptora de calor (7e) que se opone al sustrato (W) con la parte sostenida (7d) sujeta por el soporte de objetivo (5) y recibe el calor de radiación emitido desde el sustrato (W). La parte sostenida (7d) transfiere calor desde la cara receptora de calor (7e) al soporte de objetivo (5). Cada soporte de objetivo (5) sostiene selectivamente el objetivo (4) o el panel de enfriamiento (7).
Metodo para la formacion de una pelicula funcional.
Номер патента: ES2034964T3. Автор: Masaaki Hirooka,Jun-Ichi Hanna,Isamu Shimizu,Keishi Saitoh. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 1993-04-16.