Alignment method, alignment device, and exposure device
Номер патента: KR101674131B1
Опубликовано: 08-11-2016
Автор(ы): 다카미츠 이와모토
Принадлежит: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-11-2016
Автор(ы): 다카미츠 이와모토
Принадлежит: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Alignment method and apparatus in an exposing process
Номер патента: US5682228A. Автор: Eiichi Miyake. Владелец: Sanei Giken Co Ltd. Дата публикации: 1997-10-28.