Exposure method of holographic grating and exposure light path
Номер патента: US10146179B2
Опубликовано: 04-12-2018
Автор(ы): Hao Dong, Jinchao PANG, Jinchao Zhang, Kai Ni, Mingfei Xu, Qian Zhou, Rui Tian
Принадлежит: Shenzhen Graduate School Tsinghua University
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-12-2018
Автор(ы): Hao Dong, Jinchao PANG, Jinchao Zhang, Kai Ni, Mingfei Xu, Qian Zhou, Rui Tian
Принадлежит: Shenzhen Graduate School Tsinghua University
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Exposure method of holographic grating and exposure light path
Номер патента: US20160320750A1. Автор: Hao Dong,Jinchao Zhang,Qian Zhou,Mingfei Xu,Rui Tian,Kai Ni,Jinchao PANG. Владелец: Shenzhen Graduate School Tsinghua University. Дата публикации: 2016-11-03.