Methods and apparatus for recording holographic gratings
Номер патента: WO2008045275A2
Опубликовано: 17-04-2008
Автор(ы): Oleg Efimov
Принадлежит: Raytheon Company
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-04-2008
Автор(ы): Oleg Efimov
Принадлежит: Raytheon Company
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Illuminating method and illuminating apparatus for carrying out the same, and projection exposure method and projection exposure apparatus for carrying out the same
Номер патента: US5016149A. Автор: Minoru Tanaka,Yoshitada Oshida,Tetsuzo Tanimoto,Yasuhiro Yoshitake. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1991-05-14.