Method and Apparatus for Controlling Optimal Operation of Acoustic Cleaning
Номер патента: US20120227775A1
Опубликовано: 13-09-2012
Автор(ы): Paul Mertens, Steven Brems
Принадлежит: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-09-2012
Автор(ы): Paul Mertens, Steven Brems
Принадлежит: Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw IMEC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Conveyance system, conveyance method and vacuum holding apparatus for object to be processed, and centering method for water
Номер патента: US20040046545A1. Автор: Shuji Akiyama,Toshihiko Iijima,Hiroki Hosaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-03-11.