Extreme-uv lithography vacuum chamber zone seal
Номер патента: AU2725800A
Опубликовано: 01-08-2000
Автор(ы): Donald Joe Herron, Leonard E. Klebanoff, Steven J. Haney, William C. Replogle
Принадлежит: EUV LLC
Опубликовано: 01-08-2000
Автор(ы): Donald Joe Herron, Leonard E. Klebanoff, Steven J. Haney, William C. Replogle
Принадлежит: EUV LLC
Extreme-UV lithography vacuum chamber zone seal
Номер патента: US20020048002A1. Автор: Leonard Klebanoff,Steven Haney,Donald Herron,William Replogle. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-04-25.