Enhancing stability and reducing temperature factor in a micromechanical device
Номер патента: WO2006000621A1
Опубликовано: 05-01-2006
Автор(ы): Aarne Oja, Anu KÄRKKÄINEN, Heikki Seppā
Принадлежит: Valtion teknillinen tutkimuskeskus
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-01-2006
Автор(ы): Aarne Oja, Anu KÄRKKÄINEN, Heikki Seppā
Принадлежит: Valtion teknillinen tutkimuskeskus
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Rocker device for a micromechanical Z-sensor
Номер патента: US09970957B2. Автор: Andreas Scheurle,Guenther-Nino-Carlo Ulrich. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2018-05-15.