ビ−ム描画装置
Номер патента: JPS6041225A
Опубликовано: 04-03-1985
Автор(ы): Bunro Komatsu, 小松 文朗
Принадлежит: Toshiba Corp
Опубликовано: 04-03-1985
Автор(ы): Bunro Komatsu, 小松 文朗
Принадлежит: Toshiba Corp
Реферат: (57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた め要約のデータは記録されません。
Charged particle beam drawing apparatus and drawing data generation method
Номер патента: US20160284510A1. Автор: Takao Tamura,Shinji Sakamoto,Hiroshi Yamashita,Kenichi Yasui,Yasuo Kato,Hideo Tsuchiya,Hironobu Matsumoto,Shigehiro Hara,Noriaki Nakayamada,Saori GOMI. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2016-09-29.