Charged Particle Beam Drawing Device and Method of Controlling Charged Particle Beam Drawing Device
Номер патента: US20220051869A1
Опубликовано: 17-02-2022
Автор(ы): Iwanaga Masakazu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-02-2022
Автор(ы): Iwanaga Masakazu
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of generating write data, multi charged particle beam writing apparatus, and pattern inspection apparatus
Номер патента: US09558315B2. Автор: Kenichi Yasui,Shigehiro Hara. Владелец: Nuflare Technology Inc. Дата публикации: 2017-01-31.