Device and method for generating uv radiation, in particular euv radiation
Номер патента: AU2003271762A1
Опубликовано: 29-03-2004
Автор(ы): Andre Egbert, Boris Chichkov, Eberhard Neuser, Helmut Appelt, Stefan Becker
Принадлежит: Phoenix Euv Systems & Services
Опубликовано: 29-03-2004
Автор(ы): Andre Egbert, Boris Chichkov, Eberhard Neuser, Helmut Appelt, Stefan Becker
Принадлежит: Phoenix Euv Systems & Services
Device and method for mass spectroscopic analysis of particles
Номер патента: WO2019214885A1. Автор: Ralf Zimmermann,Sven Ehlert,Johannes Passig. Владелец: Photonion GmbH. Дата публикации: 2019-11-14.