Substrate container with improved substrate retainer and door latch assist mechanism
Номер патента: US20180277409A1
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): Anthony Mathius Tieben, Christopher Strickhouser
Принадлежит: Entegris Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-09-2018
Автор(ы): Anthony Mathius Tieben, Christopher Strickhouser
Принадлежит: Entegris Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer container with door guide and seal
Номер патента: US09673075B2. Автор: Michael S. Adams,Barry Gregerson,Matthew A. Fuller. Владелец: Entegris Inc. Дата публикации: 2017-06-06.