Substrate holding platen with adjustable shims
Номер патента: WO2010090728A1
Опубликовано: 12-08-2010
Автор(ы): Greg Baxter, John H. Hart, Lionel Fulwood, Raja B. Singh
Принадлежит: Wkk Distribution, Ltd.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-08-2010
Автор(ы): Greg Baxter, John H. Hart, Lionel Fulwood, Raja B. Singh
Принадлежит: Wkk Distribution, Ltd.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate holding apparatus, substrate processing apparatus having substrate holding apparatus, and substrate processing method
Номер патента: US12002704B2. Автор: Makoto Kashiwagi,Manao Hoshina. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-06-04.