Spatial monitoring and control of plasma processing environments
Номер патента: US20210241996A1
Опубликовано: 05-08-2021
Автор(ы): Daniel Carter, Denis Shaw, Kevin Fairbairn, Victor Brouk
Принадлежит: Advanced Energy Industries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-08-2021
Автор(ы): Daniel Carter, Denis Shaw, Kevin Fairbairn, Victor Brouk
Принадлежит: Advanced Energy Industries Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Spatial monitoring and control of plasma processing environments
Номер патента: US11842884B2. Автор: Kevin Fairbairn,Daniel Carter,Denis Shaw. Владелец: Advanced Energy Industries Inc. Дата публикации: 2023-12-12.