Laser produced plasma light source having a target material coated on a cylindrically-symmetric element
Номер патента: WO2017087569A1
Опубликовано: 26-05-2017
Автор(ы): Alexey Kuritsyn, Brian Ahr, Frank Chilese, Oleg KHODYKIN, Rudy Garcia
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-05-2017
Автор(ы): Alexey Kuritsyn, Brian Ahr, Frank Chilese, Oleg KHODYKIN, Rudy Garcia
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Laser Produced Plasma Light Source Having a Target Material Coated on a Cylindrically-Symmetric Element
Номер патента: US20190075641A1. Автор: Oleg KHODYKIN,Rudy F. Garcia,Frank Chilese,Alexey Kuritsyn,Brian Ahr. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2019-03-07.