System and method for optimizing metrology sampling in apc applications
Номер патента: US20050246044A1
Опубликовано: 03-11-2005
Автор(ы): Craig Schneider, Daniel Sullivan, Edward Conrad, John Smyth
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-11-2005
Автор(ы): Craig Schneider, Daniel Sullivan, Edward Conrad, John Smyth
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and predictive modeling method for smelting process control based on multi-source information with heterogeneous relatedness
Номер патента: US20180081339A1. Автор: Yada Zhu,Jayant R. Kalagnanam. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-03-22.