Paper guide apparatus and method with curl control
Номер патента: US20060043230A1
Опубликовано: 02-03-2006
Автор(ы): Paul Jenrick
Принадлежит: General Signal Technology Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-03-2006
Автор(ы): Paul Jenrick
Принадлежит: General Signal Technology Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Lithographic apparatus and device manufacturing method with feed-forward focus control
Номер патента: US20050179880A1. Автор: Hans Butler,Petrus Marinus Christianus Van Den Biggelaar,Marcus Boonman. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2005-08-18.