Single-mask fabrication process for linear and angular piezoresistive accelerometers
Номер патента: US20070084041A1
Опубликовано: 19-04-2007
Автор(ы): Andrie Shkel, E. Eklund
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-04-2007
Автор(ы): Andrie Shkel, E. Eklund
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer gap conductivity cell for characterizing process vessels and semiconductor fabrication processes and method of use
Номер патента: US5882598A. Автор: Paul George Lindquist,Robert Newell Walters. Владелец: Scp Global Technologies. Дата публикации: 1999-03-16.