耐热性树脂前体及使用其的感光性树脂组合物
Номер патента: CN101827880B
Опубликовано: 21-08-2013
Автор(ы): 佐佐木由香, 涩井智史, 金田隆行
Принадлежит: Asahi Chemical Co Ltd
Опубликовано: 21-08-2013
Автор(ы): 佐佐木由香, 涩井智史, 金田隆行
Принадлежит: Asahi Chemical Co Ltd
Реферат: 提供一种碱可溶性树脂,所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子,灵敏度高,以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽,能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38%TMAH水溶液)进行显影,可溶于γ-丁内酯,且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂,其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中,X 1 表示不含卤素原子的4价有机基团,并且Z 1 表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中,L 1 、L 2 和L 3 分别独立地表示氢原子或甲基,并且L 4 表示氢原子、甲基或羟基。)}
Precursor for heat-resistant resin and photosensitive resin composition containing the same
Номер патента: KR101175080B1. Автор: 사토시 시부이,다카유키 가나다,유카 사사키. Владелец: 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-10-26.