Substrate treatment apparatus and substrate treatment method
Номер патента: EP4435831A1
Опубликовано: 25-09-2024
Автор(ы): Beom Seok Kim, Hyo Jeong Seo, Hyung Seok Seo, Jong Woo Park, Sung Jin Yoon
Принадлежит: PSK Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-09-2024
Автор(ы): Beom Seok Kim, Hyo Jeong Seo, Hyung Seok Seo, Jong Woo Park, Sung Jin Yoon
Принадлежит: PSK Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treatment apparatus
Номер патента: US20230386796A1. Автор: Ji Hun Lee,Seung Youb SA,Dae Soo JANG,Bu Il JEON. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.