Substrate treatment apparatus and transfer schedule creation method
Номер патента: US20240162072A1
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Kenichirou Matsuyama, Yuichiro Kawasaki
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Kenichirou Matsuyama, Yuichiro Kawasaki
Принадлежит: Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate treatment apparatus and transfer schedule creation method
Номер патента: US11915959B2. Автор: Yuichiro Kawasaki,Kenichirou Matsuyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-27.