Apparatus and method for maintaining immersion fluid in the gap under the projection lens during wafer exchange in an immersion lithography machine
Номер патента: US8634057B2
Опубликовано: 21-01-2014
Автор(ы): Michael Binnard
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-01-2014
Автор(ы): Michael Binnard
Принадлежит: Nikon Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Image projection apparatus and image projection method for projecting cut-out image in a predetermined cycle
Номер патента: US09549159B2. Автор: Shunichi Shichijo,Kenji Yasui,Norihisa Yamamoto,Katsumi WATANUKI,Ryo Nishima,Hisato Seki. Владелец: JVCKenwood Corp. Дата публикации: 2017-01-17.