一种ic基板多功能化学制程装置及方法
Номер патента: CN114496862B
Опубликовано: 12-07-2022
Автор(ы): 马丁·施莱, 马库斯·郎
Принадлежит: Xinju Shenzhen Semiconductor Technology Co ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-07-2022
Автор(ы): 马丁·施莱, 马库斯·郎
Принадлежит: Xinju Shenzhen Semiconductor Technology Co ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate processing device and component inspection method for substrate processing device
Номер патента: WO2019021586A1. Автор: 橋詰 彰夫. Владелец: 株式会社Screenホールディングス. Дата публикации: 2019-01-31.