Positive resist composition and pattern forming method using the same
Номер патента: EP1975715A2
Опубликовано: 01-10-2008
Автор(ы): Kazuyoshi Mizutani, Shinichi Sugiyama
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-10-2008
Автор(ы): Kazuyoshi Mizutani, Shinichi Sugiyama
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and, resist film, pattern forming method, electronic device manufacturing method, and electronic device, each using the composition
Номер патента: US20140287363A1. Автор: Kaoru Iwato,Akinori Shibuya. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2014-09-25.