Electrical cleaning tool for wafer polishing tool system
Номер патента: US12128455B2
Опубликовано: 29-10-2024
Автор(ы): Che-Hao Tu, Chih-Wen Liu, Hui-Chi Huang, Kei-Wei Chen, Shu-Wei Hsu, Yeo-Sin Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-10-2024
Автор(ы): Che-Hao Tu, Chih-Wen Liu, Hui-Chi Huang, Kei-Wei Chen, Shu-Wei Hsu, Yeo-Sin Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer polishing system
Номер патента: US20240367283A1. Автор: Xiaoyu Xu. Владелец: Hangzhou Sizone Electronic Technology Inc. Дата публикации: 2024-11-07.