Verbesserter Run-to-Run Regler in der Halbleiterfertigung
Номер патента: DE102023204001A1
Опубликовано: 31-10-2024
Автор(ы): Andreas Finn, Ulrich Potthoff
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-10-2024
Автор(ы): Andreas Finn, Ulrich Potthoff
Принадлежит: ROBERT BOSCH GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Verbesserter run-to-run regler in der prozesssteuerung
Номер патента: WO2024223389A1. Автор: Andreas Finn,Ulrich Potthoff. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2024-10-31.