Shower head apparatus and method for controlling plasma or gas distribution
Номер патента: US09982340B2
Опубликовано: 29-05-2018
Автор(ы): Chih-Tsung Lee, Chung-En Kao, Huan-Wen Lai, Hung Jui Chang, Ming-Chin Tsai, Shiu-Ko Jangjian, You-Hua Chou
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-05-2018
Автор(ы): Chih-Tsung Lee, Chung-En Kao, Huan-Wen Lai, Hung Jui Chang, Ming-Chin Tsai, Shiu-Ko Jangjian, You-Hua Chou
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Shower head, plasma processing apparatus and plasma processing method
Номер патента: US09466468B2. Автор: Satoshi Yamada,Nobuyuki Okayama,Koichi Kazama,Shinji Fuchigami,Shuichiro Uda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.