Apparatus for and method of processing substrate
Номер патента: US09922848B2
Опубликовано: 20-03-2018
Автор(ы): Hiroaki Kitagawa, Katsuhiko Miya
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-03-2018
Автор(ы): Hiroaki Kitagawa, Katsuhiko Miya
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus for treating substrate and method for treating substrate
Номер патента: US11842903B2. Автор: Yong Hee Lee,Miso PARK. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-12.