Method and apparatus to fold optics in tools for measuring shape and/or thickness of a large and thin substrate
Номер патента: US09903708B2
Опубликовано: 27-02-2018
Автор(ы): Andrew An Zeng, Chunhai Wang, Chunsheng Huang, Frederick Arnold Goodman, Shouhong Tang, Yi Zhang
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-02-2018
Автор(ы): Andrew An Zeng, Chunhai Wang, Chunsheng Huang, Frederick Arnold Goodman, Shouhong Tang, Yi Zhang
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and Apparatus to Fold Optics in Tools for Measuring Shape and/or Thickness of a Large and Thin Substrate
Номер патента: US20160265904A1. Автор: Yi Zhang,Chunsheng Huang,Chunhai Wang,Shouhong Tang,Andrew An Zeng,Frederick Arnold Goodman. Владелец: KLA Tencor Corp. Дата публикации: 2016-09-15.