Method and apparatus for enhanced cleaning and inspection
Номер патента: US09889477B2
Опубликовано: 13-02-2018
Автор(ы): Chi-Lun Lu, Sheng-Chi Chin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-02-2018
Автор(ы): Chi-Lun Lu, Sheng-Chi Chin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scheduling method and wafer scheduling apparatus for etching equipment
Номер патента: US20230059538A1. Автор: Jianping Wang,Chien-Hung Chen,Jinjin CAO. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-23.