Method to prevent lateral epitaxial growth in semiconductor devices
Номер патента: US09825044B2
Опубликовано: 21-11-2017
Автор(ы): BALASUBRAMANIAN Pranatharthiharan, Hui Zang
Принадлежит: Globalfoundries Inc, International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-11-2017
Автор(ы): BALASUBRAMANIAN Pranatharthiharan, Hui Zang
Принадлежит: Globalfoundries Inc, International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method to prevent lateral epitaxial growth in semiconductor devices
Номер патента: US09590074B1. Автор: Hui Zang,BALASUBRAMANIAN Pranatharthiharan. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-03-07.