Hybrid organic-inorganic micromirror device and method of making a hybrid microdevice
Номер патента: US09823465B2
Опубликовано: 21-11-2017
Автор(ы): Seok Kim, Zining Yang
Принадлежит: University of Illinois
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-11-2017
Автор(ы): Seok Kim, Zining Yang
Принадлежит: University of Illinois
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Hybrid organic-inorganic micromirror device and method of making a hybrid microdevice
Номер патента: US20160231559A1. Автор: Seok Kim,Zining Yang. Владелец: University of Illinois. Дата публикации: 2016-08-11.