Gate height and spacer uniformity
Номер патента: US09704991B1
Опубликовано: 11-07-2017
Автор(ы): Balasubramanian S. Pranatharthi Haran, John Zhang, Kangguo Cheng, Lawrence A. Clevenger
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-07-2017
Автор(ы): Balasubramanian S. Pranatharthi Haran, John Zhang, Kangguo Cheng, Lawrence A. Clevenger
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Gate height control and ILD protection
Номер патента: US09923080B1. Автор: Stan Tsai,Andrew M. Greene,John R. Sporre,Ruilong Xie. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2018-03-20.