Local Gate Height Tuning by Cmp And Dummy Gate Design
Номер патента: US20210202320A1
Опубликовано: 01-07-2021
Автор(ы): Chang Chang-Yun, Chen Keng-Yao, Fu Yi-Ting, Tai Chen-Yu, WEN MING-CHANG
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-07-2021
Автор(ы): Chang Chang-Yun, Chen Keng-Yao, Fu Yi-Ting, Tai Chen-Yu, WEN MING-CHANG
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device including dummy gate part and method of fabricating the same
Номер патента: US8053845B2. Автор: Bo-Un Yoon,Chang-ki Hong,Hong-Soo Kim,Jin-Sook Choi,Sang-youn Jo,Byoung-Ho Kwon,Se-rah Yun. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2011-11-08.