Dummy gate formation using spacer pull down hardmask
Номер патента: US20170323951A1
Опубликовано: 09-11-2017
Автор(ы): Eric R. Miller, Fee Li LIE, John R. Sporre, Kangguo Cheng, Marc A. Bergendahl, Sean TEEHAN
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-11-2017
Автор(ы): Eric R. Miller, Fee Li LIE, John R. Sporre, Kangguo Cheng, Marc A. Bergendahl, Sean TEEHAN
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Dummy gate formation using spacer pull down hardmask
Номер патента: US09728622B1. Автор: Kangguo Cheng,John R. Sporre,Eric R. Miller,Marc A. Bergendahl,Fee Li LIE,Sean TEEHAN. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-08-08.