Method of forming contact hole of semiconductor device using spacer made of undoped polysilicon layer
Номер патента: KR100436063B1
Опубликовано: 16-07-2004
Автор(ы): 인성욱
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-07-2004
Автор(ы): 인성욱
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of forming air-gap on the metal interconnect of semiconductor
Номер патента: KR101402962B1. Автор: 이홍기,이민형,이호년,허진영. Владелец: 한국생산기술연구원. Дата публикации: 2014-06-03.