Radical Etching in Gate Formation
Номер патента: US20200105908A1
Опубликовано: 02-04-2020
Автор(ы): Chang-Sheng Lee, Fu-Yao Nien, Tony Huang, Wei-Yu Tsai
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-04-2020
Автор(ы): Chang-Sheng Lee, Fu-Yao Nien, Tony Huang, Wei-Yu Tsai
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Radikalätzen in Gate-Bildung
Номер патента: DE102019125427A1. Автор: Chang-Sheng Lee,Tony Huang,Wei-Yu Tsai,Fu-Yao Nien. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-08-27.