DOUBLE-PATTERN GATE FORMATION PROCESSING WITH CRITICAL DIMENSION CONTROL
Номер патента: US20140220767A1
Опубликовано: 07-08-2014
Автор(ы): HU Xiang
Принадлежит: GLOBALFOUNDRIES INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2014
Автор(ы): HU Xiang
Принадлежит: GLOBALFOUNDRIES INC.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Double-pattern gate formation processing with critical dimension control
Номер патента: US20140220767A1. Автор: Xiang Hu. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2014-08-07.