MULTI-FUNCTION OVERLAY MARKS FOR REDUCING NOISE AND EXTRACTING FOCUS AND CRITICAL DIMENSION INFORMATION
Номер патента: US20190064654A1
Опубликовано: 28-02-2019
Автор(ы): FANG Yu-Piao, Huang Te-Chih, Lee Yu-Ching
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 28-02-2019
Автор(ы): FANG Yu-Piao, Huang Te-Chih, Lee Yu-Ching
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Multi-function overlay marks for reducing noise and extracting focus and critical dimension information
Номер патента: US12055860B2. Автор: Te-Chih Huang,Yu-Ching Lee,Yu-Piao Fang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.