Apparatus and methods for determining defect depths in vertical stack memory
Номер патента: US09696264B2
Опубликовано: 04-07-2017
Автор(ы): Robert M. Danen, Stefano Palomba, Steven R. Lange
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-07-2017
Автор(ы): Robert M. Danen, Stefano Palomba, Steven R. Lange
Принадлежит: KLA Tencor Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Thz measuring apparatus and thz measuring method for detecting impurities in measured objects
Номер патента: CA3111034A1. Автор: Ralph Klose. Владелец: Inoex GmbH. Дата публикации: 2020-03-26.