Temperature insensitive resonant elements and oscillators and methods of designing and manufacturing same
Номер патента: US09695036B1
Опубликовано: 04-07-2017
Автор(ы): Aaron Partridge, Charles I. Grosjean, Ginel C. Hill, Joseph C. Doll, Markus Lutz, Paul M. Hagelin, Renata Melamud Berger
Принадлежит: Sitime Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-07-2017
Автор(ы): Aaron Partridge, Charles I. Grosjean, Ginel C. Hill, Joseph C. Doll, Markus Lutz, Paul M. Hagelin, Renata Melamud Berger
Принадлежит: Sitime Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Micromechanical resonator array and method for manufacturing thereof
Номер патента: EP2603975A1. Автор: Tuomas Pensala,Antti Jaakkola,Jyrki KIIHAMÄKI. Владелец: Valtion teknillinen tutkimuskeskus. Дата публикации: 2013-06-19.