Apparatus for processing wafer-shaped articles
Номер патента: US09616451B2
Опубликовано: 11-04-2017
Автор(ы): Christian Thomas FISCHER, Francisco CAMARGO, Mike Daniel KOLLMANN
Принадлежит: LAM RESEARCH AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-04-2017
Автор(ы): Christian Thomas FISCHER, Francisco CAMARGO, Mike Daniel KOLLMANN
Принадлежит: LAM RESEARCH AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus for processing wafer-shaped articles
Номер патента: US20140137908A1. Автор: Francisco CAMARGO,Mike Daniel KOLLMANN,Christian Thomas FISCHER. Владелец: LAM RESEARCH AG. Дата публикации: 2014-05-22.