Reducing the influence of thermal expansion of connector pins on a substrate in a vacuum pump
Номер патента: US09534506B2
Опубликовано: 03-01-2017
Автор(ы): Benoit Henry, Eduardo Carrasco, Satoshi Okudera, Ulrich Schröder
Принадлежит: Edwards Japan Ltd, Societe de Mecanique Magnetique SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-01-2017
Автор(ы): Benoit Henry, Eduardo Carrasco, Satoshi Okudera, Ulrich Schröder
Принадлежит: Edwards Japan Ltd, Societe de Mecanique Magnetique SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Surge protection in a multi-stage vacuum pump
Номер патента: GB2591774A. Автор: Turner Neil. Владелец: Edwards Ltd. Дата публикации: 2021-08-11.