Heat treatment furnace and heat treatment apparatus
Номер патента: US09466515B2
Опубликовано: 11-10-2016
Автор(ы): Akira Sasaki, Daisuke Ikeda, Kenichi Yamaga, Makoto Kobayashi, Takahiro Koike
Принадлежит: Nichias Corp, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-10-2016
Автор(ы): Akira Sasaki, Daisuke Ikeda, Kenichi Yamaga, Makoto Kobayashi, Takahiro Koike
Принадлежит: Nichias Corp, Tokyo Electron Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Heat treatment apparatus
Номер патента: US09845991B2. Автор: Hirofumi Kaneko. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-12-19.