Heat treatment apparatus emitting flash of light
Номер патента: US09437456B2
Опубликовано: 06-09-2016
Автор(ы): Kenichi Yokouchi
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-09-2016
Автор(ы): Kenichi Yokouchi
Принадлежит: Screen Holdings Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate heat treatment device
Номер патента: US09463938B2. Автор: Akihiro Toyozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.