Detecteur de pression capacitif insensible aux variations de temperature
Номер патента: FR2559900A1
Опубликовано: 23-08-1985
Автор(ы): Heikki Kuisma
Принадлежит: Vaisala Oy
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-08-1985
Автор(ы): Heikki Kuisma
Принадлежит: Vaisala Oy
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
MEMS pressure sensor with improved insensitivity to thermomechanical stress
Номер патента: DE102015104640A8. Автор: Luca Coronato,Luigi Esposito,Gabriele CAZZANIGA,Antonio Molfese. Владелец: Maxim Integrated Products Inc. Дата публикации: 2015-11-26.