Module optique pour dispositif d'eclairage
Номер патента: FR3068482B1
Опубликовано: 09-08-2019
Автор(ы): Christophe Valois, Cyril Herbin, Lucas Perdrix
Принадлежит: Valeo Vision Belgique SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-08-2019
Автор(ы): Christophe Valois, Cyril Herbin, Lucas Perdrix
Принадлежит: Valeo Vision Belgique SA
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical module for extreme ultraviolet light source
Номер патента: EP4405732A1. Автор: Jaden Robert BANKHEAD,Paul Alexander MCKENZIE,Erik Fernando HUERTA,Moonseob Jin. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-31.