APPARATUS AND METHOD FOR ACTIVE VOLTAGE COMPENSATION OF ELECTROSTATIC DISCHARGE OF A SUBSTRATE
Номер патента: US20130278280A1
Опубликовано: 24-10-2013
Автор(ы): MUELLER Bernhard G.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-10-2013
Автор(ы): MUELLER Bernhard G.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device and method for thermal stabilization of probe elements using a heat conducting wafer
Номер патента: EP4150355A1. Автор: Wayne C. Smith,Mark M. Stark,Alan E. Humphrey,Jerry R. BROZ. Владелец: International Test Solutions LLC. Дата публикации: 2023-03-22.