Method and apparatus for controlling topographical variation on a milled cross-section of a structure
Номер патента: US8163145B2
Опубликовано: 24-04-2012
Автор(ы): James P Nadeau, Jason H. Arjavac, Pei Zou
Принадлежит: FEI Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-04-2012
Автор(ы): James P Nadeau, Jason H. Arjavac, Pei Zou
Принадлежит: FEI Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for controlling topographical variation on a milled cross-section of a structure
Номер патента: US09852750B2. Автор: Pei Zou,Jason H. Arjavac,James P. Nadeau. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2017-12-26.